半导体车间的洁净度要求通常达到ISO 1至ISO 8级，甚至更高。装修设计时需要确保空气过滤系统、气流组织和压力控制等能够满足相应的洁净度要求。作为一个极端依赖洁净生产场所的产业，半导体车间的装修趋势主要集中在提高洁净度、优化温湿度控制、增强静电防护以及实现智能化管理等方面。半导体加工洁净车间的洁净度等级通常根据ISO 14644-1标准进行分类，再结合GB50073《洁净厂房设计规范》等相关规范进行建设。值得注意的是，只有在深度挖掘客户需求、精确规划洁净室及洁净区的同时，匹配正确的空气处理系统、动力及公共设施等措施，才会在后期获得一个运行精良且能耗适中的优质工程。>>>商务洽谈，点此处，在线咨询

在半导体产业工程中，比较明显的需求是一个厂区可能拥有不同的生产工段，这就需要配置不同的制造区，这些工段/工序可能分布在同一层或者在不同楼层。依规范都需设置多个洁净分区与洁净室。不同等级的洁净度对车间的设计、动力和公用设施、施工、运维等都有着不同要求。我们先来看看相关制造区的净化级别。

1.晶圆制造区

这里有着最精密的半导体制造工艺，如光刻和纳米级加工。要求极高的空气洁净度和严格的温湿度控制。

光刻区：要求最高，通常为ISO 1-3级，需控制0.1微米及以上的颗粒。

刻蚀和沉积区：洁净度要求较高，一般为ISO 3-5级，需控制0.3微米及以上的颗粒。

2.封装测试区

这里适用于高精度芯片封装和测试。要求较高的空气洁净度和稳定的环境条件。

封装区：洁净度要求中等，通常为ISO 5-7级，需控制0.5微米及以上的颗粒。

测试区：要求较低，一般为ISO 7-8级，需控制0.5微米及以上的颗粒。

3.辅助区

化学品存储区：洁净度要求较低，通常为ISO 7-8级，需控制0.5微米及以上的颗粒。

设备维护区：要求最低，一般为ISO 8级，需控制0.5微米及以上的颗粒。

4.人员与物料进出区

更衣室和风淋室：洁净度要求中等，通常为ISO 5-7级，需控制0.5微米及以上的颗粒。

物料进出区：洁净度要求较低，一般为ISO 7-8级，需控制0.5微米及以上的颗粒。

严格按照工艺要求设置洁净室及洁净区，具体方法是将洁净室划分为核心生产区、辅助区和缓冲区。核心生产区(如光刻、蚀刻、封装等高洁净要求的区域)设置于洁净区中心，辅助区(如设备维护区)和缓冲区(如风淋室、物料传递区)布置在外围，减少交叉污染。设置独立的人员通道和物料通道，避免交叉污染。人员进入需经过更衣及风淋，物料均通过传递窗或洁净传递柜进入。

也就是说，洁净厂房在建设的时候，成本是随着洁净度变化的，洁净度越高造价越贵，而我们CEIDI西递会在设计中贯穿成本平衡的原则，优化设计以控制成本。以封测厂房为例，封测工艺对洁净度要求低于前道制程(通常为ISO Class 5-7)，个别高区域做依据工艺流程图做紧凑隔离设计，例如引线键合区：需达到ISO Class 5(0.3μm颗粒≤29,300个/m³);封装区：ISO Class 6-7;测试区只要做ISO Class 8即可。

平面布局优化设计：

近年来厂区空间足够的前提下，多采用"回"字形布局，核心区为键合/封装区，物流通道宽度≥3m，满足AMHS系统需求，设置缓冲间(Air Shower)过渡区。

HVAC系统设计：

换气次数：键合区≥60次/h，封装区≥40次/h

温湿度控制：22±1℃，45±5%RH

压差梯度：核心区>5Pa，缓冲区>10Pa

空气处理系统：

MAU：配置两级预冷+三级过滤

FFU：覆盖率≥80%，风速0.35—0.45m/s

排风：酸性废气处理效率≥99%

工艺支持系统：

超纯水：电阻率≥18.2MΩ·cm，TOC<1ppb

压缩空气：露点≤-40℃，油含量<0.01ppm

真空系统：极限真空度≤10^-3 Pa

特殊工艺区设计：

铜柱凸块区：需配置局部ISO Class 4环境

3D封装区：增加惰性气体保护(N2纯度99.999%)

测试区：配置RF屏蔽室(屏蔽效能≥80dB)

我们强调的一站式整体解决方案，就是站在客户角度思考建厂及运营的流畅性，“成本优化策略”也一直贯穿在我们的设计和施工过程中。例如本文提到的分区设计控制，采用"核心区+普通区"差异化设计，普通区换气次数可降至20次/h来控制成本。材料选择方面也可以做区隔优化，例如键合区墙面采用不锈钢，其他区域用彩钢板。地坪采用环氧自流平与局部PVC导静电地板结合等，都能有效控成本。作为长三角区域资深实验洁净工程服务商，CEIDI西递提供从项目规划设计到技术方案落地的一站式交钥匙工程，多方位为客户打造符合自身需求定位的专业工程，欢迎有需求的企业联系我们，获取详细方案及报价。咨询热线：021-62250299，400-666-1693。

相关阅读：

晶圆半导体加工车间设计指标及参数要点 CEIDI西递

半导体实验室装修、千级超净间建设工程及方案

半导体车间建设：百级半导体洁净室设计装修技术要点 CEIDI西递